生産ライン、研究ラボ、フィールド、あらゆる用途に高精度、高効率、ユーザーフレンドリーなソリューションを提案します。
Agilent社製5501・5517シリーズ、光学系部品と完全コンパチブルです。レーザー単体・光学部品単体の販売も可能です。
主なアプリケーション
- 移動ステージのモーションコントロール
- ガラススケール・エンコーダーキャリブレーション
- CNC、CMMユーザー、マシンツールキャリブレーション
- 半導体・FPD検査装置、HDDトラック
- ラボ内計測：分光、波長計、周波数標準
- 品質管理
測定項目の例
- 距離
- 角度
- 直進性・垂直性
- 平行・平坦性
ステージ移動時の6パラメータ
 |
 |
測定項目により自在に組み合わせ、測定項目の追加や変更が容易に行えます。
| ゼーマンレーザー | 高速信号処理 | 干渉計・光学部品 | 波長補償（オプション） |
|---|---|---|---|
 |
 |
 |
 |
| NISTトレーサブル 周波数安定性能 |
PCとUSB接続 プラグアンドプレイ |
OEM組み込み等多種 空間光/光ファイバ |
リアルタイム波長補償 真空レファレンス機能 |
- 誰でも簡単に短時間で校正が行えます。
- 5項目同時測定（従来比 20%の短時間）
- 同時測定により更に高精度
- 光学系集積ユニット＋レーザーのシンプル構成
- リアルタイム測定・ログ取得
- ゼーマンレーザー・ヘテロダイン信号処理による高精度
- NISTトレーサブル
