OPTOMAN の深紫外（DUV）レーザーオプティクスは、最も過酷な深紫外環境でも長期安定を実現
するよう設計されています。DUV帯に最適化されたIBSコーティングミラーは高反射率（HR > 98%）を提供し、時間経過に対して一貫した光学性能を維持します。
高純度合成石英（fused silica）基板を採用することで、カラーセンター形成、光学的劣化、スペクトルドリフトといった劣化モードに強く、標準的なDUV光学で問題になる寿命低下を抑えます。劣化のない（aging-free）性能と長い運用寿命を備えているため、半導体、医療、科学用途のエキシマレーザーシステムなど、性能と信頼性が重要な用途に最適です。
デザイン例
HRa>98% @ 193 nm, AOI = 45°
常時在庫・スタンダード製品
| 型番 | 直径 (mm) | 厚さ (mm) | コーティング | 入射角 (deg) | 価格 (EUR) |
|---|---|---|---|---|---|
| PP-UVFS-25.4-6.35-LLM316 | 25.4 | 6.35 | HRa>99% @ 213 nm | 45 | 110 |
| PP-UVFS-25.4-6.35-LLM290 | 25.4 | 6.35 | HRa>98% @ 193 nm | 45 | 180 |
| PP-UVFS-25.4-6.35-LLM323 | 25.4 | 6.35 | HRa>98.5% @ 206 nm | 45 | 180 |
| PP-UVFS-25.4-6.35-MW97 | 25.4 | 6.35 | HR(R>97.0%) @ 193 nm + (R>95.0%) @ 635 nm | 45 | 210 |
