産業用フェムト秒レーザー加工装置 ::::: FemtoFAB
FemtoFABは産業用のターンキーフェムト秒レーザーシステムです。システム構成は特定の微細加工の用途（レーザーカッティング、スクライビング、ドリリング、ミリングなど）に応じて、念入りに仕上げていきます。装置はレーザークラスⅠの安全な筐体を持ち、ソフト「SCA」にて制御します。
特 長
- 加工スピード 300mm/sまで
- サブミクロンの分解能
- フェムト秒微細加工による最少の熱影響
- 航空技術に基づいたサブミクロン精度のポジショニング
- 高性能ガルバノスキャナによる精密な空間ビームコントロール
- シングルショットから1MHzまでのパルス数コントロール
- 移動ターゲットへの空間的・時間的同期が可能
- 全ての統合デバイスを制御できる独自開発のソフトウェア
用 途
- 表面マイクロ・ナノ構造化
- 選択的アブレーション
- マイクロドリリング
- 3Dダイレクトレーザー刻印
- 屈折率の変更
- ダイシング、カッティング
- 多光子重合
オプション
- ガルバノスキャナ
- 安全性を高める筐体
- 外部シャッター
- オートフォーカスシステム
- 空間光変調器
- 偏波ローテータ
- 偏波コンバータ
- カスタムデバイスのインテグレーション
FemtoFAB