超高真空窓・ビューポート
藤アイデックの真空窓は、世界唯一の高機能真空窓です。独自の技術により熱による歪みが発生しないので、さまざまな用途に安心して使用できます。（独）日本原子力研究開発機構と共同開発し、日本・米国・EU・韓国・中国・ロシアで推進中の国際熱核融合実験炉（ITER）のレーザー導入用・計測用真空窓として開発したものです。
超高真空窓 TFシリーズ
特長
熱歪みのない窓
窓材本来の偏光・散乱のない透過が得られます。熱的組立工程のない特殊シール技術で実現しました。
むらのない全面均一光学コート
窓材単体をコート後、室温にてフランジにマウントすることによって、むらのないコートになります（AR・BBAR・導電膜等）。
耐圧構造
逆圧でも窓材が外れない構造です。
非磁性・非放射化
強磁性で強放射化金属であるコバール金属等を不使用のため、磁場及び放射線環境下で使用可能です。
亜鉛を含んだろう接剤不使用
高蒸気圧金属のZnを含んだろう接剤不使用のため、真空容器内を汚しません。
λ/40までの超高面精度
TFHシリーズはλ/100までの面精度が可能です。
10気圧まで対応
オプションにより10気圧にも耐えるカスタムが可能です。
豊富な窓材種
CaF2・BaF2・MgF2・ZnSe・Ge・Si・LiF・合成石英・結晶水晶・サファイア・BK7・鉛ガラス・テンパックス・KRS-5等。
★ウェッジ付、凹凸レンズ付・両側エッジ付（～TF114型迄）等も可。
仕様
フランジ材質：SUS304L（標準）
図面
| 型名 | フランジ径D (mm) | フランジ厚T (mm) | 有効径A (mm) | 窓材厚 （mm） | ≒レングス(mm) |
|---|---|---|---|---|---|
| TF34 | 34 | 10.0 | 12 | 1.5 | 3.0 |
| TF70 | 70 | 12.7 | 33 | 3.0 | 4.0 |
| TF114 | 114 | 17.5 | 60 | 4.0 | 6.0 |
| TF152 | 152 | 20.0 | 100 | 5.5 | 7.0 |
| TF203 | 203 | 22.0 | 140 | 8.0 | 8.0 |
| 両面エッジモデル | |||||
| TFW34 | 34 | 13.5 | 12 | 1.5 | 7.2 |
| TFW70 | 70 | 18.5 | 33 | 3.0 | 9.0 |
| TFW114 | 114 | 21.5 | 60 | 4.0 | 9.0 |
| 超高面精度モデル λ/10・λ/20・λ/40・λ/50・λ/100 | |||||
| TFH34 | 34 | 13.0 | 12 | 6.0 | 3.0 |
| TFH70 | 70 | 21.7 | 33 | 12.0 | 4.0 |
| TFH114 | 114 | 33.5 | 60 | 20.0 | 6.0 |
| TFH152 | 152 | 44.5 | 100 | 30.0 | 7.0 |
- Heリーク量 < 1 x 10-10Pa m3/sec（実績として=0.1 x 10-10Pa m3/sec）
- ベーク < 200℃（但し窓材種・フランジ寸法等により異なる場合があります）
- 超高面精度モデルは窓材種によっては提案ができない場合があります。
超高真空窓 VXシリーズ
特長
超大有効径 φ440 mm以上
φ440mm以上も可能です。しかも逆圧使用できます。
超高面精度が有効径の約90％で可能
λ/50（λ=633 nm）も可能ですがフランジサイズが制限される場合があります。
窓材再研磨・交換可能
ランニングコストが大幅に削減できます。
熱歪みのない窓
窓材本来の偏光・散乱のない透過が得られます。熱的組立工程のない特殊シール技術で実現しました。
むらのない全面均一光学コート
窓材単体をコート後、室温にてフランジにマウントすることによって、むらのないコートになります（AR・BBAR・導電膜等）。
非磁性・非放射化
強磁性で強放射化金属であるコバール金属等を不使用のため、磁場及び放射線環境下で使用可能です。
亜鉛を含んだろう接剤不使用
高蒸気圧金属のZnを含んだろう接剤不使用のため、真空容器内を汚しません。
耐衝撃性
XYZ/15G/3000cycleも可能（日本原子力研究所[現・日本原子力研究開発機構]様の試験結果）
大径にもかかわらずベーク可能
熱膨張率差自己補正機能保有のため、大径にもかかわらずベークが可能です。但し、場合によっては強制冷却構造とする場合もあります。
★ウェッジ（両面可）付・凹凸レンズ付・両側エッジ付等も可。
※窓材種が制限される場合があります。詳しくはお問い合わせ下さい。
仕様
フランジ材質：SUS304L（標準）
図面
| 型名 | フランジ径D (mm) | 有効径A (mm) |
|---|---|---|
| VX114 | 114 | 48 |
| VX152 | 152 | 74 |
| VX203 | 203 | 100 |
| VX253 | 253 | 150 |
| VX305 | 305 | 200 |
| VX356 | 356 | 220 |
| VX406 | 406 | 250 |
| VX506 | 506 | 350 |
| VX606 | 606 | 440 |
- Heリーク量 < 1 x 10-11Pa m3/sec（実績として=2.0 x 10-12Pa m3/sec）
- ベーク < 200℃（但し窓材種・フランジ寸法等により異なる場合があります）
- 有効径・窓厚さ及びフランジ厚さ等は打ち合わせにて決定
