ArFエキシマレーザー向け
193nm高反射レーザーミラー
ArFエキシマレーザー向けにOPTOMANが高反射ミラーを開発しました。IBSコーティングにて「> 98% @193nm」の反射率を実現しました。紫外線波長レンジにおいて高い反射率を実現するにあたり、散乱・吸収のロスはうまく制御する必要があります。UVレーザーユーザーにとっては、ミラーの劣化は大きな問題です。Optomanは表面品質と最適化したコーティング技術に注目しました。この技術によりUVレーザーから光学素子を保護し、寿命を延ばします。
メーカー
Optoman（リトアニア）
製品詳細
| 型番 | PP-UVFS-25.4-6.35-LLM290 |
| 材質 | UVFS (Corning 7980 0F) |
| 直径 | 25.4 mm +0/-0.1 mm |
| 厚さ | 6.35 mm +/-0.1 mm |
| 有効径 | 22 mm |
| 面精度・S1 | <λ/10 @ 633 nm over any 15 mm dia |
| IBSコーティング | |
| S1 | HRa > 98% @ 193 nm, AOI=45 deg |
| S2 | Uncoated |
カタログ
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