世界最小レベル・
小型エキシマレーザー
『CEX-100 / PSX-501』
LDI Innovation社のエキシマレーザーは、世界最小レベルの小型モデルです。『CEX-100』はL36 x W15 x H23 cm、『PSX-501』はL38 x W42 x H18 cmというコンパクトサイズです。CEX-100は193nm (ArF)・248nm (KrF)・308nm (XeCL)・351nm (XeF)、PSX-501は193nm (ArF)・248nm (KrF)のラインアップとなります。CEX-100はどのような向きにも設置可能な頑強なデザインです。5nsの短パルス、5mJのパルスエネルギー、外部信号同期、各種メンテナンス機能搭載の使いやすいエキシマレーザーです。
メーカー
LDI Innovation（エストニア）
特徴
- 波長193nm (ArF)・248nm (KrF)・308nm (XeCL)・351nm (XeF)
- 小型・軽量
- 筐体の向きを問わず使用可能
- リモート制御可能
- 外部信号同期可能
- パルスエネルギーセンサ・レーザーパルスカウンター・ガス圧メーター内蔵
- 空冷
- ワンプッシュ式ガス再充填モジュール
仕様
| モデル | CEX-100 | PSX-501 |
|---|---|---|
| 波長 | 193nm (ArF)・248nm (KrF)・308nm (XeCL) ・351nm (XeF) |
193nm (ArF)・248nm (KrF) |
| パルス幅 | 5 ns | 3 - 5 ns |
| パルスエネルギー | 2 - 5 mJ | 5 - 6 mJ |
| 平均パワー | up to 350 mW | up to 1,800 mW at 300 Hz |
| 繰り返し | 1 - 100 Hz | 1 - 300 Hz |
| ビームサイズ | 3 x 3 mm | 2.5 x 3 mm |
| ガス寿命 | up to 10 million | up to 2 million |
| レーザーサイズ | L36 x W15 x H23 cm | L38 x W42 x H18 cm |
| 重量 | 9.2 kG | 16 kg |
| 冷却 | 空冷 | 空冷 |
カタログ
YouTube動画
コンパクトエキシマレーザー 『CEX-100』
