透過率 >98.5 %
波長308 nmエキシマレーザー用サファイアウィンドウ
308nmエキシマレーザーは、ディスプレイ、半導体、薄膜製造における重要なUVプロセス（LTPSアニール、レーザーリフトオフ、UVベースの層転送など）を駆動しており、高い透過率、UV耐性、長寿命を求められる光学素子に極限の要求を課しています。OPTOMANのサファイアウィンドウは、高純度基板上に精密なIBS（イオンビームスパッタリング）反射防止コーティングを施しており、308nmで98.5％以の過率を実現、UV誘発の劣化にも耐えます。標準的な光学素子とは異なり繰り返しのクリーニングにも耐え、性能の低下なく使用できるため、交換コストやダウンタイムを削減できます。
メーカー
Optoman（リトアニア）
製品詳細
| 基板 | UV grade sapphire |
|---|---|
| 直径 | 60.0 mm +0/-0.1 mm |
| 厚さ | 5.0 mm +/-0.1 mm |
| ウェッジ・S1 | <10 arcsec |
| クリアアパーチャー | >85% |
| 表面品質・S1/S2 | MIL 20/10 S/D |
| 透過WFD | λ/6 PV @633nm |
| 保護用面取り | 0.4 ±0.1 mm at 45° |
| Chips | <0.2 mm stoned |
| IBSコーティング | |
| S1 | AR≤0.2% @308nm; AOI=0°; Overall transmittance >98.5% |
| S2 | AR≤0.2% @308nm; AOI=0° |
308nm透過率
以下のデータでは308nmで「99.59%」と非常に高い透過率を達成いたしました。
カタログ
YouTube動画
