OPTOMAN社
イオンビームスパッタ装置紹介
イオンビームスパッタリング（IBS）またはイオンビーム蒸着（IBD）は、物理蒸着法（PVD）の一種であり、 高エネルギーで精密に制御されたイオンビームによってターゲット材料から分子が取り出され、目的の材料の層が形成される技術です。OPTOMANが所有する5つのイオンビームスパッタ装置を紹介いたします。
メーカー
OPTOMAN（リトアニア）
OPTOMAN社のイオンビームスパッタ装置
１．PETRA
スーパーパワー :
● ユニバーサル
● 超高効率
● 超低損失コーティング
コーティング性能
- 1インチ（25.4mm）径の光学素子 110個
- 170mm径の光学素子 2個
２．HYPERION
スーパーパワー :
● ユニバーサル
● 超高効率
● 超低損失コーティング
コーティング性能
- 1インチ（25.4mm）径の光学素子 110個
- 170mm径の光学素子 2個
３．TONY
スーパーパワー :
● ユニバーサル
● 超高効率
● 超低損失コーティング
コーティング性能
- 1インチ（25.4mm）径の光学素子 110個
- 170mm径の光学素子 2個
４．ALBERT - THE ATOM SMASHER
スーパーパワー :
● 420mmまでの大型基板のコーティングが可能
● 量産
- 1インチ（25.4mm）径の光学素子 500個
- 420mm径の光学素子 2個
５．WANDA - SCARLET WITCH
スーパーパワー :
● 中赤外レンジコーティング
● 超低損失コーティング
- 1インチ（25.4mm）径の光学素子 55個
- 170mm径の光学素子 1個
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