波長155nm～・真空紫外分光器
『VioNeer』
真空紫外領域に対応する分光器『VioNeer』は、波長155nmから410nmをカバーします。窒素を循環または真空にすることにより、今までの下限であった180nmから更に短波領域を測定することに成功しました。裏面入射型2048ピクセルCCDセンサを採用、スリット幅により波長分解能0.3～1.8nmを選択できます。半導体プロセスのモニタリング、フォトレジストの特性評価などの用途向けに開発されました。
メーカー
OtO Photonics（台湾）
特徴
- 波長155～410nm
- 窒素パージまたは真空引きにて使用
- 裏面入射型2048ピクセルCCD
- 波長分解能0.3～1.8nm
- 超低迷光設計
アプリケーション
- 半導体プロセスのモニタリング
- フォトレジストの特性評価
- ガス・水質汚染物質の分析
- 生体分子の吸収スペクトル測定
仕様
| 波長 レンジ | 155 ～ 410 nm |
|---|---|
| NA | 0.11 |
| センサ | 2048ピクセル・裏面入射型CCD |
| グレーティング | 800 g/mm ・ ブレ―ズ波長200 nm |
| 波長分解能 | 0.3 ～ 1.8 nm （スリット幅による） |
| SNR | 450 |
| ダイナミックレンジ | 5000 |
| データ伝送インターフェース | USB type B、イーサネット、16ピンGPIO |
| シャッター | 内蔵 |
| 寸法・重量 | 180(L) x 144(W) x 59.9(H) mm ・ < 2 kg |
| 窒素パージポート | Φ6 |
カタログ
実機写真・データ
D2ランプスペクトル
窒素パージポート
