絶対距離干渉計
絶対距離干渉計はサブミクロンレンジの誤差で距離を測定できる測定法です。
図は絶対距離干渉計のセットアップです。モードホップフリー波長可変ダイオードレーザー、ビームスプリッターキューブ、レファレンスアーム、フォトディテクタ―で構成されています。まずビームはビームスプリッターキューに入射されます。ビームの1部がリファレンスアームのミラーに分岐されます。反射した光がビームスプリッターキューブに戻り（再度通過し）フォトディテクタに入射されます。残りのビームはサンプルに照射されます。サンプルから反射された光についてもビームスプリッターキューブに戻り、フォトディテクタに入射されます。
フォトディテクタは、リファレンスアームのミラーとサンプルからの反射光が入射されます。この２つのビームの位相差によって、光強度が相殺的干渉の最小値と正の干渉の最大値から変化します。
ダイオードレーザーの波長をチューニングすることはフォトダイオードで干渉条件を変えることになり、その結果は高い信号と低い信号の連続になります。最終的にはそのプロセスの測定は、波長チューニングによってダークシリーズの数字の計算から構成されます。この方式は100mまでサブミクロン単位の正確性で測定することが可能です。
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